Патенты с меткой «резисторной»

Номер патента: 14221

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Шпак Екатерина Петровна, Поклонский Николай Александрович, Грицкевич Ростислав Николаевич, Горбачук Николай Иванович

МПК: C23C 16/22, H01C 17/075

Метки: структуры, тонкопленочной, способ, получения, резисторной

Текст:

...за счет химического взаимодействия с ними. Указанный диапазон энергий ионов, не вызывая заметного распыления указанной пленки, приводит к трансформации ее поверхностного слоя в электропроводящую углеродную фазу. Так как при этом снижение твердости углеродных пленок не наблюдается,то это указывает на то, что состояние их модифицированной поверхности после ионной бомбардировки является промежуточным между аморфной исходной алмазоподобной...