Патенты с меткой «полупроводников»
Способ контроля пористости покрытий на подложках из полупроводников АшВv
Номер патента: 3078
Опубликовано: 30.12.1999
Авторы: Достанко Анатолий Павлович, Ширипов Владимир Яковлевич, Телеш Евгений Владимирович
МПК: H01L 21/66, G01N 15/08
Метки: контроля, подложках, ашвv, полупроводников, пористости, способ, покрытий
Текст:
...испарения полупроводника, из которого изготовлена подложка. Это необходимо для того, чтобы создать давление,достаточное для вспучивания пленки. Нагрев при температуре меньшей, чем температура свободного конгруэнтного испарения, не обеспечивает значительной скорости испарения компонентов полупроводника и уменьшает экспрессность способа. Превышение температуры плавления над температурой испарения более чем в 1,1 раза нецелесообразно, т.к....