Патенты с меткой «ашвv»
Способ контроля пористости покрытий на подложках из полупроводников АшВv
Номер патента: 3078
Опубликовано: 30.12.1999
Авторы: Телеш Евгений Владимирович, Ширипов Владимир Яковлевич, Достанко Анатолий Павлович
МПК: G01N 15/08, H01L 21/66
Метки: ашвv, подложках, покрытий, контроля, способ, полупроводников, пористости
Текст:
...испарения полупроводника, из которого изготовлена подложка. Это необходимо для того, чтобы создать давление,достаточное для вспучивания пленки. Нагрев при температуре меньшей, чем температура свободного конгруэнтного испарения, не обеспечивает значительной скорости испарения компонентов полупроводника и уменьшает экспрессность способа. Превышение температуры плавления над температурой испарения более чем в 1,1 раза нецелесообразно, т.к....