Патенты с меткой «подзатворного»
Способ определения времени наработки на отказ подзатворного диэлектрика МДП-микросхемы
Номер патента: 17531
Опубликовано: 30.10.2013
Авторы: Петлицкий Александр Николаевич, Шведов Сергей Васильевич, Филипеня Виктор Анатольевич, Чигирь Григорий Григорьевич
МПК: G01R 31/28, H01L 21/66
Метки: мдп-микросхемы, диэлектрика, времени, наработки, подзатворного, определения, отказ, способ
Текст:
...не протекает через диэлектрик и не создает вклада в деградацию диэлектрика, что приводит к увеличению погрешности измерений. С уменьшением длительности импульса величина погрешности возрастает, и при длительности импульса менее 5 мс точность измерений становится недопустимо низкой при использовании длительности импульса более 50 мс существенно возрастает время испытаний и нарушается экспрессность контроля. Время испытаний увеличивается до...