Патенты с меткой «диэлектрика»
Способ определения времени наработки на отказ подзатворного диэлектрика МДП-микросхемы
Номер патента: 17531
Опубликовано: 30.10.2013
Авторы: Чигирь Григорий Григорьевич, Филипеня Виктор Анатольевич, Петлицкий Александр Николаевич, Шведов Сергей Васильевич
МПК: H01L 21/66, G01R 31/28
Метки: способ, мдп-микросхемы, времени, отказ, определения, диэлектрика, наработки, подзатворного
Текст:
...не протекает через диэлектрик и не создает вклада в деградацию диэлектрика, что приводит к увеличению погрешности измерений. С уменьшением длительности импульса величина погрешности возрастает, и при длительности импульса менее 5 мс точность измерений становится недопустимо низкой при использовании длительности импульса более 50 мс существенно возрастает время испытаний и нарушается экспрессность контроля. Время испытаний увеличивается до...