Патенты с меткой «межуровневой»
Способ изготовления межуровневой диэлектрической изоляции для полупроводниковых приборов
Номер патента: 17618
Опубликовано: 30.10.2013
Авторы: Новиков Виктор Александрович, Емельянов Виктор Андреевич, Емельянов Антон Викторович, Сенько Сергей Федорович
МПК: H01L 21/02
Метки: способ, изоляции, диэлектрической, полупроводниковых, изготовления, межуровневой, приборов
Текст:
...изоляции состоит из следующих технологических операций формирование промежуточного диоксида кремния, формирование слоя нитрида кремния требуемой толщины и конфигурации, осаждение ПХО с одновременной гидрогенизацией всей структуры, нанесение фоторезиста и его сушка,совмещение и экспонирование фоторезиста, проявление фоторезиста, зачистка дна контактных окон, травление контактных окон, удаление фоторезиста. В отличие от прототипа,...