Патенты с меткой «металло-кремнийорганических»
Состав для удаления металло-кремнийорганических полимерных остатков при изготовлении кремниевых интегральных микросхем
Номер патента: 9536
Опубликовано: 30.08.2007
Авторы: Кисель Анатолий Михайлович, Медведева Анна Борисовна, Емельянов Виктор Андреевич, Шикуло Владимир Евгеньевич, Плебанович Владимир Иванович, Иванчиков Александр Эдуардович
МПК: C11D 7/60, H01L 21/70
Метки: остатков, удаления, изготовлении, микросхем, кремниевых, полимерных, интегральных, металло-кремнийорганических, состав
Текст:
...конце концов, фтор замещает кислород с образованием 51134. Однако из-за низкой растворимости фторида аммония в растворе, концентрация фторид-ионов в органической фазе мала и соответственно низкая скорость реакции. Кроме того, нуклеофильность фтора мала в реакциях нуклеофильного замещения и реакция протекает с маленькой скоростью.Низкая скорость реакции растворения диоксида кремния и соответственно органической составляющей полимера...