Свиридович Олег Григорьевич

Номер патента: 358

Опубликовано: 30.03.1995

Авторы: Рубан Геннадий Иосифович, Свиридович Олег Григорьевич, Точицкий Эдуард Иванович

МПК: C23C 14/28

Метки: получения, металлооксидных, сверхпроводников, высокотемпературных, способ, пленок

Текст:

...на атомах вподложке. я двухступенчатый напуск кислорода впленки необходимдля обеспечения 1) фа- .зового перехода тетрагональной структуры в орторомбическую и 2) насыщения этой фазы кислородом до оптимальной величины т с определеннымсодержанием и упорядочением -в кислородной подсистеме- ортором бической фазы. При давлении-г кислородаболее 133 па и менее 40 Па на первом этапепленки при этому наблюдается также нео днородность состава пленки...