Свадковский Игорь Витальевич
Установка для нанесения многослойных тонкопленочных покрытий на внутреннюю поверхность крупноформатных цилиндрических объектов ионно-плазменными методами
Номер патента: U 2737
Опубликовано: 30.06.2006
Авторы: Достанко Анатолий Павлович, Завадский Сергей Михайлович, Свадковский Игорь Витальевич, Голосов Дмитрий Анатольевич
МПК: C23C 14/00
Метки: тонкопленочных, объектов, ионно-плазменными, поверхность, нанесения, покрытий, многослойных, установка, цилиндрических, внутреннюю, крупноформатных, методами
Текст:
...ионную очистку, нанесение слоев методами магнетронного распыления, реактивного магнетронного распыления, непосредственного нанесения из ионного пучка и получать многослойные тонкопленочные структуры на крупноформатные подложки в едином вакуумном цикле, в том числе на внутреннюю поверхность цилиндрических объектов. На фиг. 1 показано схематичное изображение установки для нанесения многослойных тонкопленочных покрытий на внутреннюю...
Установка для нанесения многослойных тонкопленочных покрытий методом магнетронного распыления
Номер патента: U 918
Опубликовано: 30.06.2003
Авторы: Завадский Сергей Михайлович, Достанко Анатолий Павлович, Свадковский Игорь Витальевич, Голосов Дмитрий Анатольевич
МПК: C23C 14/34
Метки: методом, тонкопленочных, установка, магнетронного, многослойных, нанесения, покрытий, распыления
Текст:
...система расположена с внутренней стороны фланца, а ионный источник - с внешней стороны фланца. Это позволяет обеспечить нанесение тонкопленочных структур с заданной однородностью свойств по поверхности подложки при ограниченных габаритах фланцев Ионный источник включается перед нанесением очередного слоя и обеспечивает стимуляцию разряда магнетрона, что позволяет добиться одновременного функционирования магнетронной...