Патенты с меткой «методами»

Установка для нанесения многослойных тонкопленочных покрытий на внутреннюю поверхность крупноформатных цилиндрических объектов ионно-плазменными методами

Загрузка...

Номер патента: U 2737

Опубликовано: 30.06.2006

Авторы: Голосов Дмитрий Анатольевич, Достанко Анатолий Павлович, Свадковский Игорь Витальевич, Завадский Сергей Михайлович

МПК: C23C 14/00

Метки: объектов, тонкопленочных, ионно-плазменными, методами, поверхность, установка, крупноформатных, покрытий, внутреннюю, многослойных, цилиндрических, нанесения

Текст:

...ионную очистку, нанесение слоев методами магнетронного распыления, реактивного магнетронного распыления, непосредственного нанесения из ионного пучка и получать многослойные тонкопленочные структуры на крупноформатные подложки в едином вакуумном цикле, в том числе на внутреннюю поверхность цилиндрических объектов. На фиг. 1 показано схематичное изображение установки для нанесения многослойных тонкопленочных покрытий на внутреннюю...