Патенты с меткой «ионно-плазменными»
Установка для нанесения многослойных тонкопленочных покрытий на внутреннюю поверхность крупноформатных цилиндрических объектов ионно-плазменными методами
Номер патента: U 2737
Опубликовано: 30.06.2006
Авторы: Завадский Сергей Михайлович, Достанко Анатолий Павлович, Голосов Дмитрий Анатольевич, Свадковский Игорь Витальевич
МПК: C23C 14/00
Метки: тонкопленочных, многослойных, крупноформатных, внутреннюю, ионно-плазменными, покрытий, объектов, установка, методами, поверхность, цилиндрических, нанесения
Текст:
...ионную очистку, нанесение слоев методами магнетронного распыления, реактивного магнетронного распыления, непосредственного нанесения из ионного пучка и получать многослойные тонкопленочные структуры на крупноформатные подложки в едином вакуумном цикле, в том числе на внутреннюю поверхность цилиндрических объектов. На фиг. 1 показано схематичное изображение установки для нанесения многослойных тонкопленочных покрытий на внутреннюю...