Испаритель

1 таинств зпкгроъмш АН 5 БССРВячетав Евгеньевич Тоницшчй Эдуард Иванович(56) Авторское щетина СССР Н 289143,ддвчорское сваддетепьствс СССР П 210604. т - с гас 13712 1966. - (544 касается нанесения покрытий ввакууме. Цепь изебретсгмя ткаЧВСТВЗ ПОКРЫТИЙЩЙРОЙЗВОДИТтШЯНпотерь нспаряемстп материала Система подачиматериала 4 соской-п из таи-паса создавшего с испарителяът через теппоизсшровашшйо керамичепапо щэскпадку апредставляет собой решетку св стенками в виде Атсгревае. Поспешив представляют собой. концентрат-жест срашолежеачные кольца сссединеннвле мвждудсобой и с внешним с квнусонд 2 лосредсгвом тетщпрсаодшщ ребер а Острые конць 1 пенек обращены в сторону тигля 5. для насыпают-стелеш- фокушровтщс пешка тварадканапъ в селении ноИзобретение касается нанесения покрытии е вакууме и может быть использовано при изготовлении микроэлектронных приборов, устройств записи оптической информации постоянных ЗУ), для получения оптических покрытии и тип.Цель изобретения повышение качестна ЙОКрЫТИЙ 33 СЧЕТ УВЕДИЧЕНИЯ ОДНОРОДНО сти их по толщине и беспористости и снижение непроизводительных потерь испаряемого материала. л На фигд схематично изображен общибг вид испарителя на фисг -разрез.А-А на фит. у л .Испаритель состоит из испарителэгфоре м-ирователя потоков лараи системы подачи материала в зону влсптаренил. дспаритель представляет собой решетку со стенками в виде прогреваемых ножевиднык элементов 1, аыполненных как одно целое с набороммежду собой усечеиных пустотелых металлическик конусов Е. образующих расширял ющиеся каналы. фокусирующие потоки пара в направлении подложки. Разогреедеталей испарителя производится строившиего на гревателя З, Суистема подачи материала 4 а аонуисларенил к ноясевидным элементам т) состоит из тигля 5. соединенного г с испарителем черезтеплоизолиргющую керамическую прокладку 6. Тигель 5 закрыт теплозащитным-акраном 7. который, при ътеобходииости. может охлаждаться надои или другими хладагентеми. испаряемыя материал 4 в ваше порошка. стерэкияс или таблетки поджимается к ножевидныи элелтентам- 1 с помощью поршг ня В. шток которою соединение механизмом его перемещения-сне покаЗаИЗДДеталг-тиспарител-я. включая конусы формироватепяпотока и ножевидныед элементы выполняются из металла с хорошей теплопроводностьюнапример. из меди с покрытием из никеля или хрома. Тигель Зможет выполняться как из металла, таки из диэлектрика, экран 7 из тонкой полированной тугоплавкои метал лическои ленты или лепетали или меди. есл он охлаждается. Ножеаидные элементы 4 чдспарителяпредставляют собой концентрически пасло ложенныедкольца. Колеца соедииенъгмежду собой и с внешним усеченным тюиусом 2 с помощью теп-лопроаодящик ребер 9. Завет он между кольцами 055-3 мы. уголузлеме-нтовКаналы испарителя. количество которых составляет 16. оканчиваются в основании гсольцеобразньпми щеллми шириной 01-3 мм. Углы расходимости стенок каналов составляют 2-2 ОС Для повышения степени фокусирования потоков пара в сечении каналы могут иметь параболические форму.Устройство работает следующим образом.Испаряемыи материал 4 а виде порошка. таблетки или стержня закрепляется не поршне 8 и помещается в тигель 5. Включа ется нагреватель 3 и температура испарите- с ля доводитсяудо рабочей. при .которой собственное давление паров испаряемого .материала составляет не менее 33 па. После этого с помощью механизма перемещения поршня испаряе-ъльпл материал поджииаетсяс к ножевиднтым элементам 1.не которык и происходит его поверхностное б(толькотив тонкого поверхностного слоя ис парение, Геометрия формирователя потока такова. что гаеры детства и оылетевшие частицы вещества не могут сразу попасть а его каналы. а оказываются. в каазизамкну той полости. ограничаенной лентовидными элементами 1 и трезотретыъг основан-иен твнутреннегобконуса 2. При многократном отражении от разогретых стенок квазизам скнутои полости частицы материаладоисла тэяаотсяди пар, поступает в канальное-вторые. а фокусируют его вдналраалении подлжки. время испаренияматериаладуопреде- аплаток временем его кентактироеания сДра зогретыти до ргдбочеи темпеуратурыэлементатиит 1. Прекращение испарения осущестеляетсяиотведенуием тто-ршня 8 инарушениеи теплового деонтакта материалач с элементами испарителя. Прииспользоеаним материалам вевиде порошкацелесообразно отведение от эленчентов 1 всего тигляданный испаритель по сравнению с иавестным устройством для нанесения покры-тий позволяет наноситьтия сложногосостаеа. равномерные по толщине по всеиу 1 прпто ттодложки с высокой постояннобгскоростью Ъ-теаависимо от ис д сходного качества уиспаряемого материала.Покрытия имеют- химическии состав. соответствующий кимическрму составу исходного исупаряеиого материала. что особенно Зважно при испарении веществ сложного состала. Устроистлоя-алзтдется также технологинным иеысокозкономичным.5 1354761 6 Формула изобретения тем, что. с целью повышении качества поИСПАРИТЕЛЬ. содержащий тигель для крытий и снижения непроизводительных испаряемого материала. нагреватель. па- потерь испаряемого материала, испариропровод. ИСПЗВИТЕЯЬНЫЙ Элемент. распо- тельный элемент выполнен в виде решетки ложенный между тиглеми паропроводам. 5 со стенками ножевидной формы. причем и поршень длппподачи материала из тигля острые концы стенок обращены в сторону к испаритепьному элементу. отппчающийся тигля.Составитель Е. Г варил-овод А о Редактор А. Заэыкина Техред Мморгоптап д Жорректор Охравцова