Шершнев Алексей Евгеньевич
Установка для получения алмазоподобных пленок
Номер патента: U 2326
Опубликовано: 30.12.2005
Авторы: Шалупаев Сергей Викентьевич, Шершнев Алексей Евгеньевич, Морозов Владимир Петрович
МПК: C23C 14/28
Метки: установка, получения, алмазоподобных, пленок
Текст:
...Достижение указанного технического результата обеспечивается тем, что в установке для нанесения алмазоподобных пленок, содержащей лазер, формирующий объектив, ва 2 23262005.12.30 куумную камеру и расположенные внутри нее ионно-лучевой источник, держатель мишени и держатель подложки, на которую осаждается испаряемый материал мишени, ионнолучевой источник и держатель мишени последовательно установлены на оптической оси установки по...
Установка для получения алмазоподобных пленок
Номер патента: U 1980
Опубликовано: 30.06.2005
Авторы: Морозов Владимир Петрович, Шалупаев Сергей Викентьевич, Никитюк Юрий Валерьевич, Шершнев Алексей Евгеньевич
МПК: C23C 14/28
Метки: получения, алмазоподобных, пленок, установка
Текст:
...временное распределение интенсивности в пичках импульсов, что способствует повышению однородности состава плазмы эрозионного факела и приводит к значительному уменьшению попадания крупных осколков материала мишени на подложку. Выполнение формирующего объектива в виде оптической системы для формирования лазерного пучка в пучок кольцевого сечения приводит к существенному увеличению как телесного угла разлета продуктов испарения, так и вь 1...