Малькевич Владимир Эдуардович
Пассивирующее покрытие для подложек из арсенида галлия
Номер патента: 5561
Опубликовано: 30.09.2003
Авторы: Малькевич Владимир Эдуардович, Телеш Евгений Владимирович, Достанко Анатолий Павлович, Юрченок Лариса Григорьевна
МПК: H01L 21/316
Метки: покрытие, подложек, арсенида, галлия, пассивирующее
Текст:
...взаимной диффузии между элементами, входящими в состав слоев. Пассивирующее покрытие функционирует следующим образом. Нижний слой 1 из оксидированного арсенида галлия обеспечивает высокую стабильность и низкий уровень, а верхний слой 3 из оксидированного арсенида галлия - требуемое значение электрической прочности. Толщина верхнего слоя составляет 0,1-0,8 мкм, а нижнего - обычно 0,005-0,006 мкм. Для верхнего слоя она определяется...