H01L 21/425 — с внедрением ионов
Способ изготовления мощного высоковольтного ДМОП-транзистора
Номер патента: 4024
Опубликовано: 30.09.2001
Авторы: Кречко Михаил Михайлович, Ануфриев Леонид Петрович, Алиев Алигаджи Магомедович, Рубцевич Иван Иванович, Дударчик Анатолий Иванович
МПК: H01L 29/78, H01L 21/425
Метки: дмоп-транзистора, способ, изготовления, мощного, высоковольтного
Текст:
...выигрыша в уменьшении перекрытия затвором р-, -областей при использовании предлагаемого способа изготовления. На фиг. 3 показаны диффузионные профили рканала, -истока рабочей ячейки ДМОП-транзистора в момент после разгонки -истоков при различной величине подтрава поликремния под маску фоторезиста пунктирной - по предлагаемому способу для величины подтрава поликремния Х 0,5 мкм (верхней границы выбранного интервала) штрих-пунктирной - по...