C23C 14/54 — управление или регулирование способа нанесения покрытия

Номер патента: 8640

Опубликовано: 30.12.2006

Авторы: Жоглик Игорь Николаевич, Синцов Сергей Иванович, Григорович Игорь Михайлович

МПК: C23C 14/00, C23C 14/54, C23C 14/32...

Метки: покрытий, нанесения, вакууме, способ

Текст:

...потенциала смещения на изделие.Поставленная задача решается способом нанесения покрытий в вакууме, включающим предварительную подготовку поверхности обрабатываемых изделий, размещение изделий на приспособлении в вакуумной камере, очистку, нагрев и активацию поверхности изделия нейтральными или ионизированными частицами азота или аргона перед нанесением покрытия, приложение к приспособлению электрического смещения путем подачи положительных...

Номер патента: U 709

Опубликовано: 30.12.2002

Авторы: Хило Петр Анатольевич, Петрашенко Петр Дмитриевич

МПК: G01B 7/06, C23C 14/54

Метки: покрытия, нанесения, ионноплазменного, устройство, диэлектрического

Текст:

...к изолированному проводнику. Авторами при отработке технологии нанесения ионноплазменных покрытий из диэлектрического материала обнаружено, что использование предложенной системы контроля состояния покрытия в условиях постоянства параметров плазмы низкого давления, когда проводник с регистрирующим наконечником не экранированы любым из известных способов, характеризуется тем, что величина регистрируемого тока с течением времени убывает...