G03F 9/00 — Фиксация или размещение оригиналов, масок, растров, фотографических листов или рельефных или текстурированных поверхностей, например автоматически
Оптическое устройство совмещения установки фотолитографии
Номер патента: 17160
Опубликовано: 30.06.2013
Авторы: Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович
Метки: установки, фотолитографии, оптическое, устройство, совмещения
Текст:
...и профиль фильтра в разрезе. на фиг. 5 приведен сигнал оптической свертки изображения знака совмещения и его математического образа. Оптическое устройство совмещения для установки фотолитографии (фиг. 1) содержит координатный стол ретиклов (на фиг. 1 не показан) с ретиклом 1, содержащим знаки базирования 2, датчики базирования ретикла 3, проекционный объектив 5, датчик совмещения 4,стол пластин 11 с пластиной 8 и знаками совмещения 9,...
Способ аттестации координатной системы установки литографии
Номер патента: 14141
Опубликовано: 30.04.2011
Авторы: Есьман Василий Михайлович, Борисевич Виктория Стефановна, Пушкина Татьяна Владимировна, Корнелюк Александр Иванович
МПК: G01B 11/03, G03F 9/00
Метки: установки, способ, аттестации, системы, литографии, координатной
Текст:
...первой пластины на координатный стол, формирование на ней знаков аттестации без коррекции координатного стола, измерение координат сформированных знаков при поворотах пластины на множество углов,расчет функции коррекции с учетом измеренных координат и ввод рассчитанной функции коррекции в систему управления координатной системой установки. После этого на координатный стол устанавливают вторую пластину, формируют на ней знаки аттестации,...