Патенты с меткой «координатной»
Способ аттестации координатной системы установки литографии
Номер патента: 14141
Опубликовано: 30.04.2011
Авторы: Есьман Василий Михайлович, Борисевич Виктория Стефановна, Пушкина Татьяна Владимировна, Корнелюк Александр Иванович
МПК: G01B 11/03, G03F 9/00
Метки: установки, системы, аттестации, координатной, литографии, способ
Текст:
...первой пластины на координатный стол, формирование на ней знаков аттестации без коррекции координатного стола, измерение координат сформированных знаков при поворотах пластины на множество углов,расчет функции коррекции с учетом измеренных координат и ввод рассчитанной функции коррекции в систему управления координатной системой установки. После этого на координатный стол устанавливают вторую пластину, формируют на ней знаки аттестации,...