Борисевич Виктория Стефановна
Способ аттестации координатной системы установки литографии
Номер патента: 14141
Опубликовано: 30.04.2011
Авторы: Пушкина Татьяна Владимировна, Есьман Василий Михайлович, Борисевич Виктория Стефановна, Корнелюк Александр Иванович
МПК: G03F 9/00, G01B 11/03
Метки: аттестации, системы, координатной, литографии, установки, способ
Текст:
...первой пластины на координатный стол, формирование на ней знаков аттестации без коррекции координатного стола, измерение координат сформированных знаков при поворотах пластины на множество углов,расчет функции коррекции с учетом измеренных координат и ввод рассчитанной функции коррекции в систему управления координатной системой установки. После этого на координатный стол устанавливают вторую пластину, формируют на ней знаки аттестации,...