Патенты с меткой «фотолитографии»
Оптическое устройство совмещения установки фотолитографии
Номер патента: 17160
Опубликовано: 30.06.2013
Авторы: Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович
Метки: фотолитографии, совмещения, устройство, оптическое, установки
Текст:
...и профиль фильтра в разрезе. на фиг. 5 приведен сигнал оптической свертки изображения знака совмещения и его математического образа. Оптическое устройство совмещения для установки фотолитографии (фиг. 1) содержит координатный стол ретиклов (на фиг. 1 не показан) с ретиклом 1, содержащим знаки базирования 2, датчики базирования ретикла 3, проекционный объектив 5, датчик совмещения 4,стол пластин 11 с пластиной 8 и знаками совмещения 9,...