G01B 11/03 — посредством определения координат точек
Способ аттестации координатной системы установки литографии
Номер патента: 14141
Опубликовано: 30.04.2011
Авторы: Корнелюк Александр Иванович, Пушкина Татьяна Владимировна, Есьман Василий Михайлович, Борисевич Виктория Стефановна
МПК: G01B 11/03, G03F 9/00
Метки: литографии, координатной, аттестации, установки, системы, способ
Текст:
...первой пластины на координатный стол, формирование на ней знаков аттестации без коррекции координатного стола, измерение координат сформированных знаков при поворотах пластины на множество углов,расчет функции коррекции с учетом измеренных координат и ввод рассчитанной функции коррекции в систему управления координатной системой установки. После этого на координатный стол устанавливают вторую пластину, формируют на ней знаки аттестации,...
Устройство для измерения координат
Номер патента: 4460
Опубликовано: 30.06.2002
Авторы: Нехаева Людмила Алексеевна, Бобылев Александр Николаевич
МПК: G01B 11/03, G01C 11/08
Метки: координат, устройство, измерения
Текст:
...дополнительного объектива обеспечивает равенство этих смещений. Взаимная компенсация смещений изображения фотоснимка и марки обеспечивает повышение точности измерения координат. На фиг. 1 изображен вид спереди предлагаемого устройства в первом варианте исполнения на фиг. 2 вид сверху предлагаемого устройства на фиг. 3 изображена оптическая схема оптической каретки с геометрическими построениями, позволяющими определить значение фокусного...