Патенты с меткой «мультислойного»

Номер патента: 11698

Опубликовано: 30.04.2009

Авторы: Гречихин Леонид Иванович, Голушко Виктория Маратовна, Иващенко Сергей Анатольевич, Фролов Игорь Станиславович

МПК: C23C 14/00

Метки: покрытия, вакуумно-плазменного, получения, способ, мультислойного

Текст:

...напыления УРМ 3.279.048 в импульсном режиме работы испарителя производилось осаждение мультислойного покрытияна образцы из стали 12 Х 18 Н 10 Т. Режимы осаждения ток дуги 90 А, напряжение на образце 100 В,давление реакционного газа (азота) в вакуумной камере 810-2 Па. Скорость осаждения покрытия для данных режимов составляет 0,18 мкм/мин. Атомарные монослои 1 (фиг. 1) материала покрытия в каждом слое 2 наносились до температуры,...