Патенты с меткой «ионноплазменного»

Устройство для ионноплазменного нанесения диэлектрического покрытия

Загрузка...

Номер патента: U 709

Опубликовано: 30.12.2002

Авторы: Хило Петр Анатольевич, Петрашенко Петр Дмитриевич

МПК: G01B 7/06, C23C 14/54

Метки: ионноплазменного, диэлектрического, покрытия, нанесения, устройство

Текст:

...к изолированному проводнику. Авторами при отработке технологии нанесения ионноплазменных покрытий из диэлектрического материала обнаружено, что использование предложенной системы контроля состояния покрытия в условиях постоянства параметров плазмы низкого давления, когда проводник с регистрирующим наконечником не экранированы любым из известных способов, характеризуется тем, что величина регистрируемого тока с течением времени убывает...