Патенты с меткой «струйной»
Способ струйной очистки поверхности полупроводниковых кремниевых пластин с металлизированной разводкой на основе алюминия
Номер патента: 16480
Опубликовано: 30.10.2012
Авторы: Медведева Анна Борисовна, Иванчиков Александр Эдуардович, Турцевич Аркадий Степанович, Кисель Анатолий Михайлович
МПК: B08B 3/08, H01L 21/44
Метки: полупроводниковых, способ, основе, алюминия, пластин, разводкой, очистки, кремниевых, металлизированной, поверхности, струйной
Текст:
...водой в течение менее 60 с при скорости вращения менее 50 об./мин поверхность недостаточно гидрофилизируется, что приводит к подтраву поверхности алюминия и снижениювыхода ИМС. При предварительной обработке пластин деионизированной водой в течение более 180 секунд и скорости более 150 об./мин наблюдается коррозия алюминия и выход годных снижается. Сущность изобретения поясняется фиг. 1 и 2, где на фиг. 1 представлено значительное и...
Крыльчатка для подачи средства для струйной обработки в центробежное колесо
Номер патента: 13959
Опубликовано: 28.02.2011
Авторы: ВАДЕФУЛЬ, Йост
МПК: B24C 5/00
Метки: струйной, центробежное, колесо, средства, крыльчатка, подачи, обработки
Текст:
...под углом друг относительно друга, в частности, по меньшей мере, -образно, или обе полки образуют -образную форму. Предпочтительно, по меньшей мере, одна полка, предпочтительно обе полки профильного элемента могут проходить под углом относительно радиального направления крыльчатки, в частности бокового диска. Полки профильных элементов в другом варианте выполнения изобретения могут быть соединены друг с другом с помощью проходящей...