Патенты с меткой «разводкой»
Способ струйной очистки поверхности полупроводниковых кремниевых пластин с металлизированной разводкой на основе алюминия
Номер патента: 16480
Опубликовано: 30.10.2012
Авторы: Кисель Анатолий Михайлович, Медведева Анна Борисовна, Турцевич Аркадий Степанович, Иванчиков Александр Эдуардович
МПК: B08B 3/08, H01L 21/44
Метки: разводкой, основе, струйной, поверхности, металлизированной, способ, пластин, очистки, кремниевых, алюминия, полупроводниковых
Текст:
...водой в течение менее 60 с при скорости вращения менее 50 об./мин поверхность недостаточно гидрофилизируется, что приводит к подтраву поверхности алюминия и снижениювыхода ИМС. При предварительной обработке пластин деионизированной водой в течение более 180 секунд и скорости более 150 об./мин наблюдается коррозия алюминия и выход годных снижается. Сущность изобретения поясняется фиг. 1 и 2, где на фиг. 1 представлено значительное и...