Патенты с меткой «фоторезистов»

Номер патента: 11179

Опубликовано: 30.10.2008

Авторы: Зуев Владимир Павлович, Агейченко Александр Степанович, Васильев Алексей Андреевич

МПК: H01L 21/02, G03F 7/20

Метки: устройство, слоев, экспонирования, фоторезистов, толстых

Текст:

...содержит широкополосный источник экспонирующего света, осветительную систему с апертурной диафрагмой, ретикл с топологическим рисунком, полихроматический проекционный объектив с апертурной диафрагмой, координатный стол для размещения экспонируемой пластины, а также первый и второй интерференционные фильтры, установленные в плоскости двух указанных апертурных диафрагм соответственно и выполненные с возможностью задания заранее...