Зуев Владимир Павлович
Устройство для экспонирования толстых слоев фоторезистов
Номер патента: 11179
Опубликовано: 30.10.2008
Авторы: Агейченко Александр Степанович, Зуев Владимир Павлович, Васильев Алексей Андреевич
МПК: H01L 21/02, G03F 7/20
Метки: слоев, экспонирования, фоторезистов, толстых, устройство
Текст:
...содержит широкополосный источник экспонирующего света, осветительную систему с апертурной диафрагмой, ретикл с топологическим рисунком, полихроматический проекционный объектив с апертурной диафрагмой, координатный стол для размещения экспонируемой пластины, а также первый и второй интерференционные фильтры, установленные в плоскости двух указанных апертурных диафрагм соответственно и выполненные с возможностью задания заранее...
Устройство контроля геометрической формы внутренних цилиндрических и сложнопрофильных поверхностей
Номер патента: U 1485
Опубликовано: 30.09.2004
Авторы: Дедков Андрей Иванович, Плавинский Валерий Антонович, Зуев Владимир Павлович, Зайцев Валентин Андреевич
МПК: G01B 5/20
Метки: цилиндрических, контроля, формы, сложнопрофильных, поверхностей, внутренних, геометрической, устройство
Текст:
...от расчетной образцовой, и трехканальный измерительный рычажный механизм 8 (фиг. 2), закрепленный на каретке 3, состоящий из держателя 9 с установленными на нем тремя расположенными равномерно по кругу ползунами 10 с возможностью их радиального перемещения и фиксации, несущими три преобразователя линейных перемещений 6 и три измерительных рычага 11, одним плечом взаимодействующих с преобразователями линейных перемещений 6, а вторым -...
Устройство контроля геометрической формы наружных цилиндрических и сложнопрофильных поверхностей
Номер патента: U 1368
Опубликовано: 30.06.2004
Авторы: Плавинский Валерий Антонович, Дедков Андрей Иванович, Зайцев Валентин Андреевич, Зуев Владимир Павлович
МПК: G01B 5/20
Метки: сложнопрофильных, устройство, поверхностей, формы, геометрической, контроля, наружных, цилиндрических
Текст:
...совпадающей с осью механизма 4 крепления и вращения контролируемой детали, и блок обработки сигналов 7, подключенный к преобразователям линейных перемещений 6 и компьютерной системе 8 суммирования показаний преобразователей 6 и вычисления отклонений формы контролируемой поверхности от расчетной образцовой. Устройство контроля геометрической формы наружных цилиндрических и сложнопрофильных поверхностей работает следующим образом. После...