Плескачевский Игорь Юрьевич
Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц
Номер патента: 9539
Опубликовано: 30.08.2007
Авторы: Агеев Виталий Алексеевич, Вершина Алексей Константинович, Латушкина Светлана Дмитриевна, Плескачевский Игорь Юрьевич
МПК: C23C 14/32
Метки: микрочастиц, устройство, плазмы, испарителя, очистки, дугового
Текст:
...повышение степени очистки плазменного потока от микрочастиц при сохранении высокой степени прозрачности для ионной компоненты.Поставленная задача решается за счет того, что в устройстве для очистки плазмы дугового испарителя от макрочастиц, содержащем жалюзную систему электродов, вь 1 полненных в виде набора коаксиальных электродов конической формы, перекрываюших апертуру испарителя, электрически соединенных между собой последовательно...