Датчик для определения концентрации газов

(51)01 27/12 НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ ДАТЧИК ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ ГАЗОВ(71) Заявитель Научно-исследовательское республиканское унитарное предприятие Минский НИИ радиоматериалов(72) Авторы Таратын Игорь Александрович Сергеев Евгений Александрович(73) Патентообладатель Научно-исследовательское республиканское унитарное предприятие Минский НИИ радиоматериалов(57) Датчик для определения концентрации газов, включающий чувствительный элемент,содержащий нагреватель с нанесенным на нем активным слоем, платиновые микропровода, отличающийся тем, что нагреватель выполнен в виде кремниевой подложки, к которой подсоединены платиновые микропровода. 7375 1 2005.09.30 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в измерительной технике при разработке микроэлектронных датчиков концентрации газов. Известен датчик газов, представляющий электроизолирующую подложку, покрытую слоем диоксида кремния с размещенными на ней нагревателем и термодатчиком, электродами для газочувствительного слоя 1. Недостатком этого датчика является отсутствие длительной стабильности работы нагревателя при высоких температурах, что ведет к дрейфу контролируемых параметров. Задачей, на решение которой направлено данное изобретение, является упрощение конструкции и технологии изготовления. Поставленная задача решается тем, что в датчике для определения концентрации газов, включающем чувствительный элемент, содержащий нагреватель с нанесенным на нем активным слоем, платиновые микропровода, нагреватель выполнен в форме кремниевой подножки, к которой подсоединены платиновые микропровода. На фигуре изображен датчик для определения концентрации газов в разрезе. Датчик для определения концентрации газов содержит нагреватель 1, выполненный в форме кремниевой подножки, к которому подсоединены платиновые микропровода 2. На нагреватель 1, выполненный в форме кремниевой подножки, нанесен активный слой 3,состоящий, например из гидрооксида индия и гидроксида олова. Датчик для определения концентрации газов работает следующим образом. К платиновым проводам 2 подключают необходимое напряжение . В результате чего достигается определенная температура (200-600 С) активного слоя 3. При рабочих температурах сопротивление активного слоя 3 зависит от концентрации определяемого газа,которое фиксируется блоком обработки результатов (на чертеже не показан). При рабочих температурах в среде контролируемого газа происходит резкое уменьшение сопротивления активного слоя 3, которое пропорционально концентрации газа, т.е. является его функцией. Таким образом, выполнение нагревателя в форме кремниевой подложки, к которой подсоединены платиновые микропровода, позволяет упростить конструкцию датчика и технологию его изготовления. Национальный центр интеллектуальной собственности. 220034, г. Минск, ул. Козлова, 20.