Сергеев Евгений Александрович

Номер патента: 15235

Опубликовано: 30.12.2011

Авторы: Гринчук Анатолий Петрович, Таратын Игорь Александрович, Сергеев Евгений Александрович

МПК: G01N 27/12

Метки: концентрации, активного, микромеханический, газа, определения, датчик

Текст:

...на части подложки, которая выполнена в виде консоли к остальной части подложки и имеет толщину, равную по крайней мере двум областям пространственного заряда 3. Этот интегральный первичный преобразователь концентрации водорода имеет недостаток, заключающийся в том, что его конструкция достаточно сложна в изготовлении за счет наличия МДП-структуры. Известен также микромеханический датчик для определения концентрации активного газа,...

Номер патента: 9116

Опубликовано: 30.04.2007

Авторы: Баран Сергей Владимирович, Таратын Игорь Александрович, Сергеев Евгений Александрович

МПК: G01N 25/22

Метки: элемент, датчика, чувствительный, термокаталитического

Текст:

...фазового состояния и структуры газочувствительного слоя, что отрицательно сказывается на стабильности. Известен чувствительный элемент для датчиков термохимических (термокаталитических) газоанализаторов, описанный в способе изготовления чувствительных элементов для термокаталитических датчиков, представляющий собой сочетание платиновой спирали с каталитически активной массой. На спираль наносится каталитически активная масса и,...

Номер патента: 7375

Опубликовано: 30.09.2005

Авторы: Таратын Игорь Александрович, Сергеев Евгений Александрович

МПК: G01N 27/12

Метки: газов, концентрации, датчик, определения

Текст:

...Задачей, на решение которой направлено данное изобретение, является упрощение конструкции и технологии изготовления. Поставленная задача решается тем, что в датчике для определения концентрации газов, включающем чувствительный элемент, содержащий нагреватель с нанесенным на нем активным слоем, платиновые микропровода, нагреватель выполнен в форме кремниевой подножки, к которой подсоединены платиновые микропровода. На фигуре изображен...

Номер патента: 6451

Опубликовано: 30.09.2004

Авторы: Лобко Эдвард Владимирович, Сергеев Евгений Александрович, Урецкий Валерий Борисович, Таратын Игорь Александрович

МПК: G01N 27/12

Метки: определения, газов, датчик, концентрации

Текст:

...чувствительный элемент, включающий кремниевую подложку 1 с нанесенным на ней слоем диоксида кремния (2) - 2, на котором расположен резистивный платиновый нагреватель 3 с пленкой чувствительного материала 4, состоящего из оксида индия (23), оксида олова (2), оксида галлия (23),контактную площадку 5 резистивного платинового нагревателя 3, платиновый микропровод 6, присоединенный к контактной площадке 5 и кремниевой подложке 1. Датчик для...