Покотило Юрий Мефодьевич
Способ определения концентрации свободных носителей заряда в кремнии
Номер патента: 1700
Опубликовано: 30.09.1997
Авторы: Покотило Юрий Мефодьевич, Уренев Валерий Иванович, Литвинов Валентин Вадимович
МПК: G01N 21/35, H01L 21/66
Метки: носителей, свободных, заряда, определения, кремнии, концентрации, способ
Текст:
...р-типа (1) с удельным сопротивлением р 0,3 и 12 Ом.см и -типа (р 1 и 4,4 Ом.см) (2) от длины волны. На фиг.2 изображены профили распределения концентрации свободных носителей заряда вдоль оси роста слитков кремния типа КДБ-12 диаметром 100 (1) и 150 (2) мм. Для реализации неразрушающего метода определения концентрации свободных носителей заряда в предлагаемом способе измеряют отношение коэффициентов пропускания Т 1/Т 2 двух пучков...