Станкевич Е. В.

Номер патента: 313

Опубликовано: 30.12.1994

Авторы: Точицкий Э. И., Станкевич Е. В., Селифанов О. В.

МПК: C23C 15/00

Метки: способ, покрытий, плазменного, вакууме, нанесения

Текст:

...с 1 д согтавляет 10 10 секунд 10 10 микросекунд). а также для интенсивного смешивания плазменньж лото показано) ДЛЯ ПРЗКТИЧЕСКН ПОЛНОГО УСков и формирования направленного к подложкодержателю потока плазмы осаждаемого материала. АКроме того, высокоинерционные микрокапли плазменных потоков (в случае 5 использования эрозионной плазмы)при достижении поверхности, нагретой до темературы близкой к критической температуре конденсации используемого...