C23C 15/00 — C23C 15/00

Номер патента: 313

Опубликовано: 30.12.1994

Авторы: Станкевич Е. В., Селифанов О. В., Точицкий Э. И.

МПК: C23C 15/00

Метки: нанесения, способ, плазменного, покрытий, вакууме

Текст:

...с 1 д согтавляет 10 10 секунд 10 10 микросекунд). а также для интенсивного смешивания плазменньж лото показано) ДЛЯ ПРЗКТИЧЕСКН ПОЛНОГО УСков и формирования направленного к подложкодержателю потока плазмы осаждаемого материала. АКроме того, высокоинерционные микрокапли плазменных потоков (в случае 5 использования эрозионной плазмы)при достижении поверхности, нагретой до темературы близкой к критической температуре конденсации используемого...