Невдах О. П.
3H, 1ОH-2-Оксо- 4-тиазолино [4,5-b] [1,5]-бензодиазепин в качестве маскирующего материала для микролитографии
Номер патента: 734
Опубликовано: 30.06.1995
Авторы: Конышева Т. В., Кочканян Р. А., Луканюк С. С., Невдах О. П., Спицын Н. В., Михайловский Ю. К., Азарко В. А., Агабеков В. Е.
МПК: H01L 21/02, C07D 513/04, G03C 1/72...
Метки: микролитографии, качестве, материала, 1оh-2-оксо, маскирующего, 4-тиазолино, 1,5]-бензодиазепин, 4,5-b
Текст:
...(кремний дырочной проводимости, легированный бором, с удельным сопротивлением 0,3 Ом-см) диаметром 100 мм толщиной 4601 10 мкм закрепляют на верхнем срезе стакана-цилиндра высотой 120 мм(по центру нижнего среза размещается испаритель). Камеру ВУП-4 вакуумируют до 2,4 105 Торр, температуру испарителя доводят до 26010 С, открывают заслонку и в течение 6 мин напыляют пленку. Навеска испаряется полностью, остатка нет.На подложке образуется...
1H, 11H-2,4-Диоксо-3-фенил-пиримидо-[4,5-b] [1,5]-бензодиазепин в качестве маскирующего материала для микролитографии
Номер патента: 732
Опубликовано: 30.06.1995
Авторы: Луканюк С. С., Спицын Н. В., Невдах О. П., Азарко В. А., Михайловский Ю. К., Конышева Т. В., Агабеков В. Е., Кочканян Р. А.
МПК: H01L 21/02, G03C 1/72, C07D 487/04...
Метки: качестве, материала, маскирующего, 11h-2,4-диоксо-3-фенил-пиримидо-[4,5-b, микролитографии, 1,5]-бензодиазепин
Текст:
...1 представляет собой порошок кораллового цвета с температурой плавления 349-350 50. Найдено, Х С 66,94 Н 4,08 М 18,29. Бруттоформула 017 Н 12 Ы 403. Молекулярная масса З 0 аЗ 0. Вычислено, 1 С1372 СС 1535 СЫ 1565 СО 1695 -НС ЗОЗ 5 СНарФм 3062 Ф ЬЫ-Н 3285. УФспентр (пленки) итал, нм 260, 356, 446. При термическом вакуумном испаренииглянцевые пленки с орошеь адгезией н полупроводниковым, стенлнн Нин, полимерным и нетащличесиим подлоннам....