Патенты с меткой «11h-2,4-диоксо-3-фенил-пиримидо-[4,5-b»
1H, 11H-2,4-Диоксо-3-фенил-пиримидо-[4,5-b] [1,5]-бензодиазепин в качестве маскирующего материала для микролитографии
Номер патента: 732
Опубликовано: 30.06.1995
Авторы: Луканюк С. С., Невдах О. П., Михайловский Ю. К., Кочканян Р. А., Конышева Т. В., Спицын Н. В., Азарко В. А., Агабеков В. Е.
МПК: C07D 487/04, G03C 1/72, H01L 21/02...
Метки: микролитографии, 11h-2,4-диоксо-3-фенил-пиримидо-[4,5-b, качестве, 1,5]-бензодиазепин, маскирующего, материала
Текст:
...1 представляет собой порошок кораллового цвета с температурой плавления 349-350 50. Найдено, Х С 66,94 Н 4,08 М 18,29. Бруттоформула 017 Н 12 Ы 403. Молекулярная масса З 0 аЗ 0. Вычислено, 1 С1372 СС 1535 СЫ 1565 СО 1695 -НС ЗОЗ 5 СНарФм 3062 Ф ЬЫ-Н 3285. УФспентр (пленки) итал, нм 260, 356, 446. При термическом вакуумном испаренииглянцевые пленки с орошеь адгезией н полупроводниковым, стенлнн Нин, полимерным и нетащличесиим подлоннам....