Патенты с меткой «4,5-b»
3H, 1ОH-2-Оксо- 4-тиазолино [4,5-b] [1,5]-бензодиазепин в качестве маскирующего материала для микролитографии
Номер патента: 734
Опубликовано: 30.06.1995
Авторы: Агабеков В. Е., Конышева Т. В., Михайловский Ю. К., Кочканян Р. А., Невдах О. П., Спицын Н. В., Луканюк С. С., Азарко В. А.
МПК: G03C 1/72, C07D 513/04, H01L 21/02...
Метки: 4-тиазолино, 1оh-2-оксо, маскирующего, 1,5]-бензодиазепин, качестве, 4,5-b, материала, микролитографии
Текст:
...(кремний дырочной проводимости, легированный бором, с удельным сопротивлением 0,3 Ом-см) диаметром 100 мм толщиной 4601 10 мкм закрепляют на верхнем срезе стакана-цилиндра высотой 120 мм(по центру нижнего среза размещается испаритель). Камеру ВУП-4 вакуумируют до 2,4 105 Торр, температуру испарителя доводят до 26010 С, открывают заслонку и в течение 6 мин напыляют пленку. Навеска испаряется полностью, остатка нет.На подложке образуется...