Лабан Эдуард Казимирович
Способ изготовления межэлементных соединений микросхемы
Номер патента: 14850
Опубликовано: 30.10.2011
Авторы: Довнар Николай Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Кузик Сергей Владимирович, Солодуха Виталий Александрович, Глухманчук Владимир Владимирович, Лабан Эдуард Казимирович
МПК: H01L 21/28, H01L 21/02, H01L 23/48...
Метки: микросхемы, соединений, межэлементных, способ, изготовления
Текст:
...нанесения пассивирующих слоев фосфоросиликатного стекла и нитрида кремния. Таким образом исключается критичная технологическая операция по вскрытию в нанесенном пассивирующем слое фосфоросиликатного стекла окон к контактным площадкам для присоединения выводов. Пассивирующий слой нитрида кремния является более устойчивым к воздействию травителей и невлагопоглощающим. По этой причине операция по вскрытию окон к контактным площадкам является...