Патенты с меткой «межэлементных»
Способ изготовления межэлементных соединений микросхемы
Номер патента: 14850
Опубликовано: 30.10.2011
Авторы: Довнар Николай Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Солодуха Виталий Александрович, Кузик Сергей Владимирович, Лабан Эдуард Казимирович, Глухманчук Владимир Владимирович
МПК: H01L 23/48, H01L 21/02, H01L 21/28...
Метки: изготовления, соединений, межэлементных, микросхемы, способ
Текст:
...нанесения пассивирующих слоев фосфоросиликатного стекла и нитрида кремния. Таким образом исключается критичная технологическая операция по вскрытию в нанесенном пассивирующем слое фосфоросиликатного стекла окон к контактным площадкам для присоединения выводов. Пассивирующий слой нитрида кремния является более устойчивым к воздействию травителей и невлагопоглощающим. По этой причине операция по вскрытию окон к контактным площадкам является...