Кукреш Анна Брониславовна
Способ приготовления раствора для травления пленки диоксида кремния
Номер патента: 8580
Опубликовано: 30.10.2006
Авторы: Кисель Анатолий Михайлович, Медведева Анна Борисовна, Лысюк Анатолий Александрович, Кукреш Анна Брониславовна, Емельянов Виктор Андреевич
МПК: H01L 21/306, C09K 13/08
Метки: раствора, кремния, травления, диоксида, способ, пленки, приготовления
Текст:
...слоты низкие и постоянно меняются, это приводит в известном способе приготовления раствора к низкой скорости травления пленки диоксида кремния и нестабильности скорости травления пленки диоксида кремния. В основу изобретения положена задача увеличения и стабилизации скорости травления пленки диоксида кремния. Сущность изобретения заключается в том, что способ приготовления раствора для травления пленки диоксида кремния включает смешивание...
Способ очистки ортофосфорной кислоты
Номер патента: 3682
Опубликовано: 30.12.2000
Авторы: Иванов Геннадий Иванович, Кукреш Анна Брониславовна, Довнар Николай Александрович, Кисель Анатолий Михайлович
МПК: C01B 25/235
Метки: очистки, ортофосфорной, кислоты, способ
Текст:
...полной или частичной закупорки, частыми остановками процесса для замены фильтров или их очистки от твердой фазы. В основу изобретения положена задача создания высокопроизводительного, пригодного для серийного промышленного производства способа очистки ортофосфорной кислоты за счет уменьшения вязкости и повышения скорости фильтрации, исключения закупорки пор фильтров твердой фазой и частых остановок по этой причине процесса очистки...