Кукреш Анна Брониславовна

Способ приготовления раствора для травления пленки диоксида кремния

Загрузка...

Номер патента: 8580

Опубликовано: 30.10.2006

Авторы: Кисель Анатолий Михайлович, Медведева Анна Борисовна, Лысюк Анатолий Александрович, Кукреш Анна Брониславовна, Емельянов Виктор Андреевич

МПК: H01L 21/306, C09K 13/08

Метки: раствора, кремния, травления, диоксида, способ, пленки, приготовления

Текст:

...слоты низкие и постоянно меняются, это приводит в известном способе приготовления раствора к низкой скорости травления пленки диоксида кремния и нестабильности скорости травления пленки диоксида кремния. В основу изобретения положена задача увеличения и стабилизации скорости травления пленки диоксида кремния. Сущность изобретения заключается в том, что способ приготовления раствора для травления пленки диоксида кремния включает смешивание...

Способ очистки ортофосфорной кислоты

Загрузка...

Номер патента: 3682

Опубликовано: 30.12.2000

Авторы: Иванов Геннадий Иванович, Кукреш Анна Брониславовна, Довнар Николай Александрович, Кисель Анатолий Михайлович

МПК: C01B 25/235

Метки: очистки, ортофосфорной, кислоты, способ

Текст:

...полной или частичной закупорки, частыми остановками процесса для замены фильтров или их очистки от твердой фазы. В основу изобретения положена задача создания высокопроизводительного, пригодного для серийного промышленного производства способа очистки ортофосфорной кислоты за счет уменьшения вязкости и повышения скорости фильтрации, исключения закупорки пор фильтров твердой фазой и частых остановок по этой причине процесса очистки...