C09K 13/08 — соединение фтора
Способ приготовления раствора для травления пленки диоксида кремния
Номер патента: 8580
Опубликовано: 30.10.2006
Авторы: Кукреш Анна Брониславовна, Лысюк Анатолий Александрович, Медведева Анна Борисовна, Кисель Анатолий Михайлович, Емельянов Виктор Андреевич
МПК: C09K 13/08, H01L 21/306
Метки: приготовления, пленки, способ, травления, диоксида, кремния, раствора
Текст:
...слоты низкие и постоянно меняются, это приводит в известном способе приготовления раствора к низкой скорости травления пленки диоксида кремния и нестабильности скорости травления пленки диоксида кремния. В основу изобретения положена задача увеличения и стабилизации скорости травления пленки диоксида кремния. Сущность изобретения заключается в том, что способ приготовления раствора для травления пленки диоксида кремния включает смешивание...