Галиева Жаннета Николаевна
Полиимидная композиция для защиты кристаллов полупроводниковых приборов и интегральных схем
Номер патента: 11322
Опубликовано: 30.12.2008
Авторы: Глоба Анастасия Ивановна, Галиева Жаннета Николаевна, Крутько Эльвира Тихоновна, Глоба Иван Иванович, Жарская Тамара Александровна
МПК: C08L 79/00
Метки: интегральных, защиты, композиция, полупроводниковых, полиимидная, кристаллов, приборов, схем
Текст:
...влияние на теплофизические характеристики покрытия, благодаря чему достигается меньшая разница между коэффициентами термического расширения материалов, из которых изготовлены функциональные элементы кристалла, и защитного покрытия, обеспечивая меньшую вероятность повреждения микроэлементов структуры по причине несогласованности этих характеристик. Экспериментально установлено, что эффект снижения усадки защитного покрытия и повышения выхода...