Фигурин Борис Леонидович
Способ получения магнитных пленок в вакууме
Номер патента: 2509
Опубликовано: 30.12.1998
Авторы: Фигурин Борис Леонидович, Фигурин Кирилл Борисович, Береснев Александр Николаевич, Вершина Алексей Константинович
МПК: C23C 14/36
Метки: пленок, магнитных, способ, вакууме, получения
Текст:
...субструктуры кристаллов вызывает появление магнитного момента (разворота) 2509 1 кристаллов в направлении легкого намагничивания. Оптимизация ориентирующего магнитного воздействия по отношению к процессу кристаллизации нейтрализует негативное влияние внутреннего трения и обеспечивает технический результат. Напыленный материал конденсируется на подложку в аморфном (некристаллическом) состоянии на требуемую толщину. По окончании процесса...
Устройство для получения покрытий в вакууме
Номер патента: 1375
Опубликовано: 16.09.1996
Авторы: Фигурин Кирилл Борисович, Фигурин Борис Леонидович, Ковалевский Виктор Николаевич, Яковчик Н. М., Вершина Алексей Константинович
МПК: C23C 14/38, C23C 14/00
Метки: получения, покрытий, вакууме, устройство
Текст:
...деталей.Предлагаемое устройство описывается следующим образом (фиг. 1). Напыляемая подложка 1 расположена фронтально распыляемому катоду 2, вмонтированному в стенку камеры 3. Параллельно распыляемому катоду установлен дополнительный катод 5, питаемый от источника б.Предлагаемое устройство работает следующим образом. До окончания процесса предварительной обработки осуществляется процесс распнгления в скрещенных магнитном и...