Яковчик Н. М.
Устройство для получения покрытий в вакууме
Номер патента: 1375
Опубликовано: 16.09.1996
Авторы: Вершина Алексей Константинович, Фигурин Кирилл Борисович, Яковчик Н. М., Фигурин Борис Леонидович, Ковалевский Виктор Николаевич
МПК: C23C 14/38, C23C 14/00
Метки: получения, устройство, вакууме, покрытий
Текст:
...деталей.Предлагаемое устройство описывается следующим образом (фиг. 1). Напыляемая подложка 1 расположена фронтально распыляемому катоду 2, вмонтированному в стенку камеры 3. Параллельно распыляемому катоду установлен дополнительный катод 5, питаемый от источника б.Предлагаемое устройство работает следующим образом. До окончания процесса предварительной обработки осуществляется процесс распнгления в скрещенных магнитном и...