C30B 23/02 — выращивание эпитаксиальных слоев
Способ получения алмазоподобной пленки
Номер патента: 2936
Опубликовано: 30.09.1999
Авторы: Емельянов Виктор Андреевич, Федосенко Геннадий Николаевич, Ширипов Владимир Яковлевич, Федосенко Николай Николаевич
МПК: C23C 14/28, C30B 23/02, C30B 29/04...
Метки: пленки, получения, алмазоподобной, способ
Текст:
...на фиг. 1 - вакуумная установка для нанесения алмазоподобной пленки лазерным способом фиг. 2 - спектр электронного парамагнитного резонанса алмазоподобной пленки, полученной заявляемым способом фиг. 3 - спектр комбинационного рассеяния света алмазоподобной пленки, полученной заявляемым способом фиг. 4 - спектр комбинационного рассеяния аморфной графитоподобной пленки фиг. 5 - спектр комбинационного рассеяния аморфной углеродной пленки....