Бабаскина Светлана Юрьевна
Алмазная паста для полирования полупроводниковых материалов
Номер патента: 16495
Опубликовано: 30.10.2012
Авторы: Якубовская Светлана Владимировна, Бабаскина Светлана Юрьевна, Кузей Анатолий Михайлович, Корбит Александр Анатольевич, Олехнович Олег Николаевич
МПК: C09G 1/02
Метки: материалов, паста, полупроводниковых, полирования, алмазная
Текст:
...Это обусловливает воспроизводимость эксплуатационных свойств алмазной пасты,высокую абразивную способность и высокое качество обработанной поверхности. Сущность способа поясняют примеры конкретного выполнения. Пример 1 (по прототипу) Нагревают жидкий синтанол в количестве 58,0 вес.до 40-50 С, смешивают с зернами абразива АСМ 10/7 (10,0 вес. ), после чего при перемешивании прибавляют жидкий циклимид в количестве 3,0 вес.и предварительно...
Раствор для химического осаждения медно-кобальтового покрытия
Номер патента: 15104
Опубликовано: 30.12.2011
Авторы: Корбит Александр Анатольевич, Кульбицкая Людмила Викторовна, Бабаскина Светлана Юрьевна, Якубовская Светлана Владимировна
МПК: C23C 18/48
Метки: осаждения, раствор, медно-кобальтового, покрытия, химического
Текст:
...осаждаемого покрытия и, во-вторых, способствующего поддержанию постоянной скорости процесса, так как пассивация замедляет процесс осаждения сплава вплоть до 3 15104 1 2011.12.30 полной его остановки. Кроме того, блоксополимер окисей этилена и пропилена обеспечивает равномерность нанесения покрытия на покрываемую сплавом поверхность, а также равномерность распределения металлов в сплаве. Благодаря вводимому в раствор блоксополимеру окисей...
Раствор для химического меднения
Номер патента: 14626
Опубликовано: 30.08.2011
Авторы: Смоляк Василий Васильевич, Судник Лариса Владимировна, Сычева Ольга Анатольевна, Бабаскина Светлана Юрьевна, Якубовская Светлана Владимировна, Корбит Александр Анатольевич, Кульбицкая Людмила Викторовна
МПК: C23C 18/40
Метки: раствор, химического, меднения
Текст:
...позволяет суммирующее воздействие комбинации вводимых в подобранных количествах компонентов с различным механизмом стабилизирующего воздействия гексаметилентетрамин, уксуснокислый аммоний и триэтаноламин(поверхностно-активные азотсодержащие соединения) хемосорбируются на осаждаемых частицах меди и способствуют локализации процесса образования новых частиц меди в объеме неионогенное ПАВ создает на поверхности мономолекулярный слой,...