Олехнович Олег Николаевич
Алмазная паста для полирования полупроводниковых материалов
Номер патента: 16495
Опубликовано: 30.10.2012
Авторы: Кузей Анатолий Михайлович, Якубовская Светлана Владимировна, Корбит Александр Анатольевич, Олехнович Олег Николаевич, Бабаскина Светлана Юрьевна
МПК: C09G 1/02
Метки: паста, алмазная, полупроводниковых, полирования, материалов
Текст:
...Это обусловливает воспроизводимость эксплуатационных свойств алмазной пасты,высокую абразивную способность и высокое качество обработанной поверхности. Сущность способа поясняют примеры конкретного выполнения. Пример 1 (по прототипу) Нагревают жидкий синтанол в количестве 58,0 вес.до 40-50 С, смешивают с зернами абразива АСМ 10/7 (10,0 вес. ), после чего при перемешивании прибавляют жидкий циклимид в количестве 3,0 вес.и предварительно...