Патенты с меткой «ядерно-легированном»
Способ изготовления силовых быстродействующих полупроводниковых приборов на ядерно-легированном кремнии
Номер патента: 18059
Опубликовано: 30.04.2014
Автор: Марченко Игорь Георгиевич
МПК: H01L 21/263
Метки: силовых, ядерно-легированном, кремнии, приборов, изготовления, способ, быстродействующих, полупроводниковых
Текст:
...Задачей изобретения является увеличение процента выхода годных приборов за счет лучшего соотношения частотных и статических характеристик. Способ изготовления силовых и быстродействующих полупроводниковых приборов на ядерно-легированном кремнии, при котором полностью сформированные приборные структуры с переходами и контактами перед посадкой в корпуса облучают при температуре 340-360 С в течение времени 5-10 мин до флюенса 21014-31014 см-2....