Патенты с меткой «травителя»
Состав для регенерации травителя на основе ортофосфорной кислоты
Номер патента: 8579
Опубликовано: 30.10.2006
Авторы: Гладкова Людмила Владимировна, Иванчиков Александр Эдуардович, Турыгин Анатолий Викторович, Медведева Анна Борисовна, Кисель Анатолий Михайлович, Емельянов Виктор Андреевич
МПК: H01L 21/306
Метки: регенерации, состав, основе, травителя, кислоты, ортофосфорной
Текст:
...автоматизированной установке 2.1. Рассчитать объем и массу компонентов для приготовления заданного объема состава, исходя из соотношения компонентов, указанного в формуле гексафторосиликат аммония 0,3-1,0 г/л вода остальное. 2.2. Закачать с помощью насоса в бак установки приготовления растворов расчетный объем воды. 2.3. Взвесить расчетную массу гексафторосиликата аммония и высыпать в бак установки приготовления растворов. 2.4. Перемешать...
Способ регенерации травителя на основе ортофосфорной кислоты
Номер патента: 3417
Опубликовано: 30.06.2000
Авторы: Довнар Николай Александрович, Кисель Анатолий Михайлович, Иванчиков Александр Эдуардович, Курганович Александр Александрович
МПК: C23F 1/46, H01L 21/306
Метки: регенерации, способ, ортофосфорной, кислоты, основе, травителя
Текст:
...осуществляют путем добавления в отработанный травитель 0,1-0,2 об. ч. воды, нагревания до температуры 90-100 С и выдержки при этой температуре не менее 1 ч. Как показали эксперименты, 0,1-0,2 об. ч. воды достаточно для обратного превращения пирофосфорной кислоты в ортофосфорную. Уменьшение количества воды, добавляемой в травитель, менее 0,1 об. ч. не позволяет всю пирофосфорную кислоту перевести в ортофосфорную, а увеличение количества воды,...