C23F 1/46 — регенерация травильных составов

Номер патента: 14499

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Карпович Дмитрий Викторович, Плебанович Владимир Иванович, Кисель Анатолий Михайлович, Вечер Дмитрий Вячеславович, Медведева Анна Борисовна, Иванчиков Александр Эдуардович

МПК: C23F 1/46

Метки: раствора, способ, кислоты, ортофосфорной, регенерации

Текст:

...Регенерация раствора ортофосфорной кислоты выполнялась путем периодической подачи воды в отработанный раствор, охлажденный до температуры (905) С и непрерывно циркулирующий в течение 2-2,5 ч. Затем производился нагрев восстановленного раствора 34 до температуры (1605) С и выполнялся процесс травления пленки нитрида кремния. Результаты представлены в табл. 3. Пример 4. Для проведения регенерации по заявляемому способу был выбран...

Номер патента: 3417

Опубликовано: 30.06.2000

Авторы: Иванчиков Александр Эдуардович, Курганович Александр Александрович, Кисель Анатолий Михайлович, Довнар Николай Александрович

МПК: H01L 21/306, C23F 1/46

Метки: кислоты, способ, основе, регенерации, ортофосфорной, травителя

Текст:

...осуществляют путем добавления в отработанный травитель 0,1-0,2 об. ч. воды, нагревания до температуры 90-100 С и выдержки при этой температуре не менее 1 ч. Как показали эксперименты, 0,1-0,2 об. ч. воды достаточно для обратного превращения пирофосфорной кислоты в ортофосфорную. Уменьшение количества воды, добавляемой в травитель, менее 0,1 об. ч. не позволяет всю пирофосфорную кислоту перевести в ортофосфорную, а увеличение количества воды,...