Гладкова Людмила Владимировна
Состав для регенерации травителя на основе ортофосфорной кислоты
Номер патента: 8579
Опубликовано: 30.10.2006
Авторы: Иванчиков Александр Эдуардович, Медведева Анна Борисовна, Турыгин Анатолий Викторович, Гладкова Людмила Владимировна, Кисель Анатолий Михайлович, Емельянов Виктор Андреевич
МПК: H01L 21/306
Метки: основе, ортофосфорной, кислоты, регенерации, травителя, состав
Текст:
...автоматизированной установке 2.1. Рассчитать объем и массу компонентов для приготовления заданного объема состава, исходя из соотношения компонентов, указанного в формуле гексафторосиликат аммония 0,3-1,0 г/л вода остальное. 2.2. Закачать с помощью насоса в бак установки приготовления растворов расчетный объем воды. 2.3. Взвесить расчетную массу гексафторосиликата аммония и высыпать в бак установки приготовления растворов. 2.4. Перемешать...